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EJA變送器在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用案例

更新時間:2024-03-28   點擊次數(shù):925次
電子工業(yè)中,半導(dǎo)體、液晶面板以及各種電子元器件的生產(chǎn)過程需要大量供給超純水,其中,半導(dǎo)體的制造代表了超純水使用的最高等級要求。
 
超純水(UPW),即除了水分子外,幾乎沒有任何雜質(zhì)的水。
 
半導(dǎo)體工廠的超純水系統(tǒng)包括了數(shù)個子系統(tǒng)和功能單元,需要精密的工藝設(shè)計和運行控制。反滲透法作為主要工藝技術(shù)之一,常用于預(yù)處理系統(tǒng)、除鹽水系統(tǒng)和純水系統(tǒng)等,需要對過濾器施加外界壓力并進(jìn)行穩(wěn)定可靠的差壓測量。
 
應(yīng)用要求:
 
高精度的差壓測量
優(yōu)于傳統(tǒng)壓力開關(guān)的控制性能
不受壓力波動以及嚴(yán)苛工況的影響

EJA變送器的應(yīng)用情況:
 
優(yōu)良的靜壓特性,在急變的靜壓下仍然穩(wěn)定精確地測量差壓
智能化特性,提高工藝質(zhì)量和系統(tǒng)效率
長期穩(wěn)定性,減少了調(diào)試和維護(hù)工作

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